[实用新型]单晶炉的冷却装置有效
申请号: | 202223301254.6 | 申请日: | 2022-12-09 |
公开(公告)号: | CN219260266U | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 贾世涛;李永哲;李维琛 | 申请(专利权)人: | 晶澳(无锡)光伏科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;F27D9/00 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 秦方豪 |
地址: | 214177 江苏省无锡市惠*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本公开属于单晶炉的冷却技术领域,具体涉及一种单晶炉的冷却装置,冷却装置包括设于炉盖上的升降驱动组件、自升降驱动组件贯穿炉盖后伸入炉筒内的提升杆以及氩气冷却组件;升降驱动组件通过提升杆提起炉筒内的热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙。氩气冷却组件包括延伸至散热间隙处的氩气供给管道,氩气供给管道通过散热间隙向热场组件内侧供给氩气。在单晶炉的冷却过程中,升降驱动组件驱动提升杆提升起热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙,氩气冷却组件通过氩气供给管道向热场组件内侧供给氩气,使得氩气能够经散热间隙进入热场组件内部,利用氩气冷却组件配合散热间隙使用能够加快热场组件的散热速度。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 冷却 装置 | ||
【主权项】:
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