[实用新型]单晶炉的冷却装置有效

专利信息
申请号: 202223301254.6 申请日: 2022-12-09
公开(公告)号: CN219260266U 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 贾世涛;李永哲;李维琛 申请(专利权)人: 晶澳(无锡)光伏科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;F27D9/00
代理公司: 北京市万慧达律师事务所 11111 代理人: 秦方豪
地址: 214177 江苏省无锡市惠*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本公开属于单晶炉的冷却技术领域,具体涉及一种单晶炉的冷却装置,冷却装置包括设于炉盖上的升降驱动组件、自升降驱动组件贯穿炉盖后伸入炉筒内的提升杆以及氩气冷却组件;升降驱动组件通过提升杆提起炉筒内的热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙。氩气冷却组件包括延伸至散热间隙处的氩气供给管道,氩气供给管道通过散热间隙向热场组件内侧供给氩气。在单晶炉的冷却过程中,升降驱动组件驱动提升杆提升起热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙,氩气冷却组件通过氩气供给管道向热场组件内侧供给氩气,使得氩气能够经散热间隙进入热场组件内部,利用氩气冷却组件配合散热间隙使用能够加快热场组件的散热速度。
搜索关键词: 单晶炉 冷却 装置
【主权项】:
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