[实用新型]一种电路集成柜有效
申请号: | 202223428078.2 | 申请日: | 2022-12-21 |
公开(公告)号: | CN219165028U | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 赵海军;孟庆昌 | 申请(专利权)人: | 青岛海通达微电子有限公司 |
主分类号: | H05K7/20 | 分类号: | H05K7/20;H05K7/18;H05K7/14;H05K5/02;F25B21/02;B01D46/10;H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 青岛匠海舟盈专利代理事务所(普通合伙) 37401 | 代理人: | 柳彦君 |
地址: | 266000 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于工业制造设备技术领域,公开了一种电路集成柜,用于扩散炉,包括设于扩散炉主体一侧的电路集成柜柜体,电路集成柜柜体与扩散炉主体之间设置有用于隔热的隔热框,电路集成柜柜体的顶部安装有用于将隔热框内部热量向外部排出的散热组件;本实用新型电路集成柜柜体与扩散炉主体之间设置有隔热框,可以减少扩散炉主体工作产生的热量对电路集成柜柜体造成的影响,且在正常使用过程中通过风机将隔热框中的热量经过散热管向外部排出,在风机散热效果不足的时候,可以通过半导体制冷片对冷却箱内部的介质进行冷却,以降低风机抽取空气的温度,进一步降低隔热框内部的温度,有效对电路集成柜柜体进行隔热保护。 | ||
搜索关键词: | 一种 电路 集成 | ||
【主权项】:
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