[实用新型]一种高精度蒸镀对位系统及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202223471261.0 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN218951475U | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 李有亮;奉洛阳;丁威 | 申请（专利权）人： | 成都骏创科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/04 |
| 代理公司： | 杭州坚果知识产权代理事务所(普通合伙) 33366 | 代理人： | 张剑英 |
| 地址： | 611730 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种高精度蒸镀对位系统及蒸镀设备，包括：玻璃基板支撑架，其支撑玻璃基板的边缘部，以在所述玻璃基板的中部形成上蒸镀区；以及掩膜板支撑架，其支撑金属掩膜板的边缘部，以在所述金属掩膜板的中部形成下蒸镀区；所述玻璃基板支撑架的上方配置有：静电吸附装置，其用于吸附所述玻璃基板以使所述上蒸镀区平整；以及磁性吸附装置，所述用于吸附所述金属掩膜板以使所述下蒸镀区平整；其中，所述静电吸附装置和磁性吸附装置被配置为，其共同地使得所述玻璃基板和金属掩膜板在蒸镀过程中保持平整地贴合。本申请的高精度蒸镀对位系统及蒸镀设备，可以提高蒸镀工艺中的对位的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 对位 系统 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都骏创科技有限公司，未经成都骏创科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202223471261.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种皮革压花机油缸结构
- 下一篇：防护型包装盒及包装盒组件
- 同类专利
- 专利分类
