[实用新型]用于放置硅片的花篮结构

摘要

本公开涉及一种用于放置硅片的花篮结构，包括第一安装架、第二安装架、承载座以及齿杆，第一安装架和第二安装架沿第一方向相对且间隔设置，且承载座连接第一安装架的底部和第二安装架的底部；齿杆包括齿杆本体和多个间隔齿，齿杆本体沿第一方向延伸并连接第一安装架和第二安装架，多个间隔齿沿第一方向两两间隔地设置于齿杆本体；每相邻两个间隔齿用于与硅片的两个侧面支撑，且间隔齿上至少形成有两个用于与硅片支撑的支撑部，且至少两个支撑部所在的平面用于与硅片的侧面平行。则当将硅片放置于该花篮结构时，该间隔齿能够使得硅片不发生弯曲变形，避免相邻两个硅片因弯曲变形而出现贴合的情况，避免粘片异常，降低返洗比例，减少生产成本。