[实用新型]半导体晶圆片的存储结构

摘要

本实用新型提供的一种半导体晶圆片的存储结构，在固定座上设置有若干个弧形槽，而螺栓则通过弧形槽将固定座固定于底板上，从所述固定座两侧的推送，所述固定座会沿着弧形槽所预设的轨迹范围内发生逆时针或者顺时针的转动。这种转动推送是通过顶推机构中的推送块以及螺栓的组合，所述螺栓通过在推送块中的旋转伸缩推动设置于固定座的固定块的推动进而推动所述固定座的旋转。而所述安装架上设置有存储格，所述存储格可以有两个侧板和安装条组成，所述的两个侧板和安装条上均设置有卡槽，所述卡槽围合形成具有安放托盘的空间。通过对固定座的调整设置于固定座上的安装架的位置进而调整存储格的位置，进而保持机械手不会与存储格的卡槽干涉。