[实用新型]一种单晶炉热屏挂件防倾倒挂板有效

专利信息
申请号: 202223549974.4 申请日: 2022-12-30
公开(公告)号: CN219195200U 公开(公告)日: 2023-06-16
发明(设计)人: 罗昌萍;李安君;吴超慧;李永刚;许堃;王艳霞 申请(专利权)人: 宇泽半导体(云南)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 云南恒于知行知识产权代理有限公司 53225 代理人: 李宁
地址: 675000 云南省楚雄彝族自治州楚*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型涉及一种单晶炉热屏挂件防倾倒挂板,属于单晶炉挂板领域;所述单晶炉热屏挂件防倾倒挂板包括挂板本体,所述挂板本体水平固定安装在水冷屏的输水管道上,挂板本体两端位于输水管道两侧处对称设置有用于挂接挂件的挂接口,所述挂接口为由横向挂接口和竖向挂接口组成的封闭式“T字型”结构;通过设有封闭式挂接口的挂板本体取代了开放式挂接口的原挂板,封闭式的挂接口可有效限制挂件脱离挂板本体,从而可有效避免单晶炉循环段加料结束后热屏下降至下限位,水冷屏仍继续向下降低时挂件因发生向外倾倒而脱离挂板本体的情况,进而可确保后续单晶炉循环段加料提升水冷屏时,水冷屏可带动热屏一同上升,保障单晶炉循环段加料的正常进行。
搜索关键词: 一种 单晶炉热屏 挂件 倾倒
【主权项】:
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