[实用新型]一种半导体设备用碳化硼聚焦环有效
| 申请号： | 202223560671.2 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN219123179U | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 赵国璋;王洪涛;谢铭 | 申请（专利权）人： | 中硼科技（威海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 大连千益智行专利代理有限公司 21270 | 代理人： | 佟蕊 |
| 地址： | 264200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备用碳化硼聚焦环，包括外部连接凸台，其设置在所述碳化硼聚焦环主体的外部，所述碳化硼聚焦环主体与外部连接凸台设置为一体成型结构，所述外部连接凸台的外部设置有防护连接孔，所述防护连接孔设置有若干个，该装置通过设置外部连接凸台和防护连接孔可以便于防护缓冲包覆橡胶支架固定在碳化硼聚焦环主体外部，使装置包装运输更加便捷，增强装置的实用性，安装防护缓冲包覆橡胶支架可以起到缓冲保护的作用，有效防止装置在运输时受到震动，避免装置与外界物体发生碰撞，避免装置出现损伤，增强装置的抗冲击能力，增强装置的使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 备用 碳化 聚焦 | ||
【主权项】：
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