[实用新型]气浮导轨及应用气浮导轨的晶圆检测气浮运动平台有效
| 申请号： | 202223602448.X | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN219135741U | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 勾宁;吴云涛;牛增渊;丁辉 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G51/02 | 分类号： | B65G51/02;B65G43/00;G01N21/01;G01B11/00 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 陈如建 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气浮导轨及应用气浮导轨的晶圆检测气浮运动平台，包括导轨机构、在所述导轨机构上设置的溜板机构、驱动所述溜板机构在所述导轨机构上移动的驱动机构，所述导轨机构与所述溜板机构间设有气浮腔，所述溜板机构上设有若干个节流孔，所述节流孔沿所述溜板机构运动方向均匀排布形成节流孔排，所述节流孔排至少设有一排。通过对气浮导轨中节流孔排中的节流孔的孔径、节流孔入口处供气压力、以及相邻节流孔间的孔距进行限定，使气膜的厚度为6‑10um时，即达到气浮导轨正常工作的气膜厚度时，气浮导轨承载刚度在峰值区间，且其峰值区间刚度相较直径大于60um的节流孔，峰值区间刚度大大提高，减少了气浮导轨的抖动。 | ||
| 搜索关键词： | 导轨 应用 检测 运动 平台 | ||
【主权项】：
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