[发明专利]用于在电镀期间调整流体动力学的空间及尺寸上非均一槽形板

摘要

一种用于电镀设备的离子电阻性离子可渗透元件包含用以在电镀期间调整接近衬底的流体动力环境的肋状物。在一个实施方案中，离子电阻性离子可渗透元件包含至少与衬底的镀覆面共同延伸的槽形部分，以及从槽形部分的面向衬底表面朝向衬底延伸的多个肋状物。肋状物包含具有完整最大高度的第一多个肋状物和具有比完整最大高度更小的最大高度的第二多个肋状物。在一个实施方案中，具有较小最大高度的肋状物安置成使得肋状物的最大高度在从元件的一个边缘到元件的中心的方向上逐渐增加。