[发明专利]通用型探针对位调整台在审
申请号: | 202310007167.X | 申请日: | 2023-01-04 |
公开(公告)号: | CN116087573A | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 杨夫明 | 申请(专利权)人: | 苏州矽利康测试系统有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/04 |
代理公司: | 无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468 | 代理人: | 王峥 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了通用型探针对位调整台,属于探针卡技术领域,包括基座,夹持定位模块上方的中部设置有Mask支架,所述Mask支架与基座之间设置有用于对Mask支架的位置进行调节的调节件,所述第三移动台的一侧固定设置有转轴,所述固定座和固定台上均设置有第四微调分头用于对固定座的角度进行调节,所述第三移动台的另一侧设置有防护壳,刚性联轴器的端部设置有从动轴,从动轴的端部与Mask支架相连接,所述刚性联轴器上设置有角度限位环,所述第三移动台对称设置有两个用于限制角度限位环转动的第五微调分头。由此,能够对Mask支架进行五维调节,通用性较强有效的保证了作业过程中的稳定性及重复定位的精度。 | ||
搜索关键词: | 通用型 探针 对位 调整 | ||
【主权项】:
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