[发明专利]用于减少抗蚀剂模型预测误差的系统和方法在审
| 申请号： | 202310013351.5 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN116125756A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | M·库伊曼;D·M·里约;S·F·乌伊斯特尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F30/13;G01B11/24;G01B11/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了一种用于校准抗蚀剂模型的方法。该方法包括以下步骤：基于抗蚀剂结构的模拟空间图像和抗蚀剂模型的参数来产生抗蚀剂结构的模型化抗蚀剂轮廓；以及基于由量测装置获得的实际抗蚀剂结构的信息，根据模型化抗蚀剂轮廓来预测抗蚀剂结构的量测轮廓。该方法包括：基于所预测的量测轮廓与由量测装置获得的实际抗蚀剂结构的实际量测轮廓的对比来调整抗蚀剂模型的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 抗蚀剂 模型 预测 误差 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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