[发明专利]惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置在审
| 申请号： | 202310028373.9 | 申请日： | 2023-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN116429077A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 泷泽照夫 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733;B81B7/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置，其腔体内的传感器不易受到污染。惯性传感器(1)包括基体(2)、与基体(2)相对的盖体(3)、配置于基体(2)与盖体(3)之间的腔体(S)并包括半导体层(23)的功能元件(4)、配置于包围腔体(S)的周边区域(P)并将基体(2)与盖体(3)粘接的粘接层(6)、将连通腔体(S)与外部并配置于周边区域(P)的孔(7)密封的密封部(8)，密封部(8)设置为与盖体(3)和基体(2)相接，并包含盖体(3)的材料和粘接层(6)的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 制造 方法 以及 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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