[发明专利]用于处理腔室的衬里

摘要

本文的实施方式涉及用于处理腔室中的具有多件式设计的腔室衬里。所述多件式设计可以具有内部部分和外部部分。所述外部部分的内表面的一部分可以被设计为在单个接合点处与所述内部部分的外表面接触这样在所述内部部分与所述外部部分之间产生热阻挡，从而减少来自所述内部部分和所述外部部分的热传递。所述热阻挡在腔室衬里内表面处产生较高温度，因此导致在所述腔室内的较短加热时间。另外，所述热阻挡还在基环以及外环的外表面附近产生较低温度，从而保护腔室壁并在所述腔室壁处需要较少热调节/耗散。