[发明专利]固体硅料熔化的检测方法在审
申请号: | 202310041535.2 | 申请日: | 2023-01-12 |
公开(公告)号: | CN116043323A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 颜超;张稳;赵群 | 申请(专利权)人: | 晶澳(邢台)太阳能有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 刘煜 |
地址: | 054000 河北省邢*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明提供一种固体硅料熔化的检测方法,包括:步骤S1,获取单晶炉内检测区域的当前图像信息,检测区域包括炉内坩埚的部分区域,部分区域的至少部分与上方的导流筒口处相对设置,固体硅料在检测区域内熔化;步骤S2,基于当前图像信息,确定固体硅料未熔融的第一剩余量;步骤S3,获取固体硅料的实际投入量、实际投入时间和与实际投入量相对应的参考熔化速率,基于实际投入量、实际投入时间和参考熔化速率确定固体硅料未熔融的第二剩余量;步骤S4,基于第一剩余量和第二剩余量,确定固体硅料的熔化状态。该方法能够准确获知硅料的熔化状态,避免仅仅依靠视觉检测,无法准确获知硅料的熔化状态的情况。 | ||
搜索关键词: | 固体 熔化 检测 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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