[发明专利]基板处理装置及基板处理方法在审
| 申请号： | 202310043004.7 | 申请日： | 2023-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN116525396A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 郑愚德;赵政熙;黄龙;成世钟;张雄柱;郑相淳 | 申请（专利权）人： | 株式会社EUGENE科技 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京纽盟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11456 | 代理人： | 许玉顺 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的实施例，基板处理装置包括:基座；以及安装在上述基座上部的盖机构，上述基板置于上述盖机构上，上述盖机构包括：具有一个以上气隙的盖框架；以及一个以上的盖，具有与各上述气隙对应的形状且可安装在上述一个以上气隙中的各气隙内，上述气隙的深度是上述基板的厚度的至少三倍。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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