[发明专利]一种基于窄线宽暗模超表面天线的折射率传感器

摘要

本发明属于光电子器件技术领域，具体提供一种基于窄线宽暗模超表面天线的折射率传感器，包括从下到上依次设置的Si衬底、Cu膜、ZnSe介质膜以及周期性“T”字形Au天线。本发明的技术关键点在于“T”字形超表面天线的设计，其采用左右非对称的结构，利用天线左边和右边共振电流回路相互干涉抵消的原理实现具有窄线宽特征的磁二极子暗模式，获得高灵敏折射率传感性能。具体设计要求是左边天线较窄部分的长度与右边天线较宽部分的长度相等，宽度差大于350nm；同时“T”字形金属天线与下面的薄膜材料组成“金属薄膜‑介质层‑金属天线”三层结构。