[发明专利]一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置在审
| 申请号： | 202310046447.1 | 申请日： | 2023-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN115950231A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 韩美洲;冯志东;胡大鹏;张浩 | 申请（专利权）人： | 苏州港麟微电子有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B23/04;F26B3/347;F26B25/22;F26B25/02;F26B25/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 郑延斌 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区元和*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种使用微波烘干TOPCon电池硅片装置，涉及微波烘干技术领域，包括链式传送机构，链式传送机构包括传送带，传送带用于传送花篮，花篮上设有TOPCon电池硅片，传送带的上侧对应设有微波烘干机构，本发明的微波烘干TOPCon电池硅片装置，通过磁控管工作，磁控管产生微波，利用微波快速烘干水分，能够对花篮中的TOPCon电池硅片全方位进行烘干，避免了花篮中带齿的地方通过鼓风机工作时难以吹干，存在死角区域，使得TOPCon电池硅片无法完全烘干，影响TOPCon电池硅片的后续制程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 微波 烘干 topcon 电池 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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