[发明专利]边缘检测镜头及系统有效
| 申请号： | 202310051294.X | 申请日： | 2023-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN115931903B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 苏州高视半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京维昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11804 | 代理人： | 刁益帆 |
| 地址： | 215153 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本披露公开了一种边缘检测镜头及系统。该边缘检测镜头包括：复合透镜、成像透镜组及反射镜；复合透镜包括：在第一口径范围内的边缘检测透镜和在第二口径范围内的表面检测透镜；其中，第一口径范围的上限值小于或等于第二口径范围的下限值，边缘检测透镜的曲率半径与表面检测透镜的曲率半径不同；反射镜设置在待测晶圆上表面的上方和/或待测晶圆下表面的下方，用于将待测晶圆表面的检测光线反射至表面检测透镜后，经表面检测透镜透射至成像透镜组；待测晶圆边缘面的检测光线通过边缘检测透镜透射至成像透镜组。该边缘检测镜头能够仅使用一个镜头就实现晶圆边缘的三个方向的同时检测，节省了检测系统的设备成本与占用空间。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 检测 镜头 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州高视半导体技术有限公司，未经苏州高视半导体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310051294.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
