[发明专利]一种椭偏测量校正方法及装置在审
| 申请号： | 202310057477.2 | 申请日： | 2023-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN116203805A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 庄源;杨翼 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 孟旭彤 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种椭偏测量校正方法，在椭偏测量中，当光学元件的出射光具有部分偏振和/或窄椭偏特征时，对拟合得到的傅里叶系数α |
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| 搜索关键词： | 一种 测量 校正 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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