[发明专利]一种介观尺寸下FIB样品转移至衬底进行输运测量的方法在审
| 申请号： | 202310057800.6 | 申请日： | 2023-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN116086913A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 屈哲;许锡童;刘永来 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32;G01N35/00;H01J37/305 |
| 代理公司： | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人： | 叶洋军 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种介观尺寸下FIB样品转移至衬底进行输运测量的方法，包括以下步骤：蚀刻步骤：将待蚀刻的单晶样品抛光打磨至光滑平整面，打磨后的单晶样品通过导电碳胶黏贴在FIB双束系统的载物台上，按照沉积保护层、上下挖槽、粗削、切U型槽、精修、削非晶的顺序，得到目标样品薄片S；取样步骤：取下FIB双束系统的载物台上的单晶样品，将该样品通过碳胶黏贴于三轴取样载物台上，并在单晶样品表面覆盖一层PDMS凝胶，之后下探针，挤压薄片样品S使其侧边的连接处自然断裂，且自然吸附在PDMS凝胶上；将薄片样品转移至标准电极衬底上转移步骤；以及沉积步骤。本发明能够快速准确的制备出优良的目标样品，以供后续研究使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 fib 样品 转移 衬底 进行 输运 测量 方法 | ||
【主权项】：
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