[发明专利]散射光学计算方法、装置、计算机设备及存储介质在审

专利信息
申请号: 202310066735.3 申请日: 2023-01-12
公开(公告)号: CN116306096A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 朱峻锋;许毅钦;张志清;古志良;陈志涛 申请(专利权)人: 广东省科学院半导体研究所
主分类号: G06F30/23 分类号: G06F30/23;G06F30/25;G06N3/006;G06F111/10
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 梁韬
地址: 510651 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及散射光学技术领域,公开了一种散射光学计算方法、装置、计算机设备及存储介质。方法包括:对样品膜的粒子平均直径、体积分数和样本厚度进行初始随机训练,得到样品膜的散射颗粒部分的厚度分布;对厚度分布进行傅里叶变换,得到相应的空间频谱,并对空间频谱进行正态分布统计拟合,得到所述空间频谱的正态分布的标准差和振幅;根据空间频谱的正态分布的标准差和振幅,计算厚度分布的标准偏差;根据厚度分布的标准偏差和预设相位扰动计算公式,计算入射光线穿过样品膜时所引起的相位扰动的标准偏差;根据相位扰动的标准偏差,计算入射光线的非散射光转换率。本申请基于相位扰动的算法,简化入射光线在散射材料的传播过程,提升计算效率。
搜索关键词: 散射 光学 计算方法 装置 计算机 设备 存储 介质
【主权项】:
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