[发明专利]一种马赫曾德尔电光调制器及调制方法在审
申请号: | 202310067477.0 | 申请日: | 2023-01-30 |
公开(公告)号: | CN116224675A | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 郑学彦;魏红振;苗荣生;李泽彬;彭羽;万里威 | 申请(专利权)人: | 珠海市艾尔德光通讯技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/225 | 分类号: | G02F1/225;G02F1/21 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 周伟锋 |
地址: | 519000 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供了一种马赫曾德尔电光调制器及调制方法,所述调制器包括硅基底层,所述硅基底层上覆设有第一二氧化硅层,所述第一二氧化硅层中嵌设有第一共面波导电极,所述第一二氧化硅层上覆设有波导层,所述第一共面波导电极和所述波导层接触连接;所述波导层背离所述第一二氧化硅层的表面设有第二共面波导电极,所述波导层和所述第二共面波导电极二者形成的空隙中涂覆有第二二氧化硅层;其中,所述第一共面波导电极和所述第二共面波导电极供于施加同频同相的电压信号。 | ||
搜索关键词: | 一种 马赫 曾德尔 电光 调制器 调制 方法 | ||
【主权项】:
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