[发明专利]一种小型可切换式电子-离子枪在审
| 申请号： | 202310068649.6 | 申请日： | 2023-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN116230472A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 章健;陈艳中 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所;中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | H01J29/48 | 分类号： | H01J29/48;H01J37/08 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种小型可切换式电子‑离子枪。所述小型可切换式电子‑离子枪包括：刀口密封的标准CF法兰；设置在CF法兰非刀口侧且位于中心部位的真空引线组件；设置在CF法兰另一侧的支撑件；设置在支撑件上的电子‑离子源的组件。本发明提出的切换式电子‑离子枪具有清洁无污染、工作可靠、寿命长的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 小型 切换 电子 离子 | ||
【主权项】：
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