[发明专利]一种具有高动态测量精度的硅谐振压力传感器有效
| 申请号： | 202310080263.7 | 申请日： | 2023-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN115790913B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 胡宗达;周红;宫凯勋;李宁;张坤;张林 | 申请（专利权）人： | 成都凯天电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610091 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有高动态测量精度的硅谐振压力传感器，包括具有离子掺杂的100晶向的硅晶圆，硅晶圆衬底设有切边为110晶向的硅晶圆定位边；硅晶圆上布设有硅谐振压力芯片单元，硅谐振压力芯片单元的表面设有谐振梁，谐振梁通过锚点固定在硅晶圆上，谐振梁外围的两侧分别设置有一个驱动电极，位于谐振梁的中间布置检测电极。本发明采用基于晶向‑掺杂效应的原位温度自补偿方法，通过在常规100晶向的晶圆上设置特定的谐振梁晶向方向，并利用掺杂工艺改变单晶硅材料的杨氏模量温漂系数，减小了对应晶向谐振梁的热灵敏度指标，形成一个对温度不敏感的谐振梁结构，解决了外界环境温度快速变化带来的动态误差降低的影响，产品工艺简单，良率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 动态 测量 精度 谐振 压力传感器 | ||
【主权项】：
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