[发明专利]基于MEMS的空气芯微同轴传输线的制造方法在审
| 申请号： | 202310083329.8 | 申请日： | 2023-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN116053748A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王荣栋;杨云春;张拴;马诗潇 | 申请（专利权）人： | 赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;H01P3/06 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 甄伟军 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS的空气芯微同轴传输线的制造方法，所述制造方法包括：在衬底上沉积一层种子层；在种子层表面形成第一图案化光刻胶层，并在第一图案化光刻胶层的图案内电镀形成微同轴传输线的外轴底层；采用化学机械抛光方法，利用新型抛光液对外轴底层和第一图案化光刻胶层的表面进行抛光，使得外轴底层和第一图案化光刻胶层的表面平坦化；在抛光后的外轴底层和第一图案化光刻胶层的表面形成外轴侧壁、支撑层、内轴和外轴顶层，得到空气芯微同轴传输线。该制造方法采用新型抛光液进行化学机械抛光，可以使得外轴底层的铜材料与光刻胶的抛光速率非常接近，从而可以减小抛光面的高度差，使得后续其它层结构生长时更稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 空气 同轴 传输线 制造 方法 | ||
【主权项】：
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