[发明专利]一种晶圆级阳极氧化系统及方法在审
| 申请号： | 202310091852.5 | 申请日： | 2023-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN116162985A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 王雪深;李劲劲;陈建;王振宇;李万;王仕建 | 申请（专利权）人： | 合肥国家实验室;中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | C25D11/32 | 分类号： | C25D11/32;C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨傥月 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供一种晶圆级阳极氧化系统及方法，氧化系统包括控制模块、数字源表、阳极、阴极和电解槽，阳极为位于晶圆上的金属；控制模块与数字源表的第一端相连，用于控制数字源表输出电流；数字源表的第二端和第三端分别连接阳极和阴极，用于向阳极和阴极输入电流，以在阳极和阴极之间形成电场，对阳极金属氧化，数字源表用于测量阳极和阴极之间的电压，电压与阳极氧化形成的氧化膜的厚度基本成线性关系；电解槽中盛有电解液，阳极和阴极位于电解液中。观察阳极和阴极之间的电压变化可以确定阳极氧化膜的厚度，通过控制模块可以随时暂停或开启阳极氧化，实现可控厚度的晶圆级金属阳极氧化，具有稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆级 阳极 氧化 系统 方法 | ||
【主权项】：
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