[发明专利]一种TOPCon电池正面减反射膜结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202310098350.5 | 申请日： | 2023-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN116314355A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘新玉;李倩;李志彬 | 申请（专利权）人： | 英利能源发展（保定）有限公司;英利能源发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 墨伟 |
| 地址： | 072150 河北省保定市满城*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池技术领域，具体公开了一种TOPCon电池正面减反射膜结构及其制备方法。所述正面减反射膜包括依次沉积在氧化铝层表面上的氮化硅层、氮氧化硅层和氧化硅层；其中，所述氮化硅层由2个以上的氮化硅子层沉积而成，且各氮化硅子层的折射率自靠近所述氧化铝层的一侧向远离所述氧化铝层的方向依次递减。通过氧化硅和氮化硅的配合使用，同时兼顾了场钝化和化学钝化，提高了钝化效果；氮化硅层、氮氧化硅层、氧化硅层的设计保证了正面减反射膜的减反射效果，进一步提高了电池的光电转换效率。通过结构优化，使TOPCon电池正面减反射膜兼顾了良好的钝化和减反射性能，进一步提高了电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 topcon 电池 正面 减反射膜 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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