[发明专利]红外薄膜器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310100947.9 申请日: 2023-02-09
公开(公告)号: CN116500707A 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 付秀华;刘瑞奇;王奔;潘永刚 申请(专利权)人: 长春理工大学中山研究院
主分类号: G02B1/115 分类号: G02B1/115;C23C14/54;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/30
代理公司: 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 代理人: 黄贞君;郑纯
地址: 130028 吉林省长春市火*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供了一种红外薄膜器件及其制备方法,属于光学薄膜技术领域,具体包括惰性基底;长波通膜系,沉积在所述惰性基底的一表面,所述长波通膜系为非等厚周期膜系,周期膜系的结构表达为x(0.8L1(H1L1)3H10.8L1)3,其中,H1为高折射率材料ZnS,L1为低折射率材料Yb‑B,Yb‑B为YbF3与Ca的混合薄膜材料,x为膜厚度为λ/4的倍数;以及增透膜系,沉积在所述惰性基底的另一表面,基础膜系的结构为Sub|(H2L2)2M2|Air进行设计,其中,H2为高折射率材料Ge,L2为中折射率材料ZnS,M2为低折射率材Yb‑B,Yb‑B为YbF3与Ca的混合薄膜材料,所述长波通膜系、所述增透膜系与空气接触的表面面型和所述惰性基底的表面面型相近。通过本申请的处理方案,降低应力对膜层以及器件的影响,提高膜层强度。
搜索关键词: 红外 薄膜 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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