[发明专利]红外薄膜器件及其制备方法在审
申请号: | 202310100947.9 | 申请日: | 2023-02-09 |
公开(公告)号: | CN116500707A | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 付秀华;刘瑞奇;王奔;潘永刚 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学中山研究院 |
主分类号: | G02B1/115 | 分类号: | G02B1/115;C23C14/54;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/30 |
代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 黄贞君;郑纯 |
地址: | 130028 吉林省长春市火*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: |
本发明提供了一种红外薄膜器件及其制备方法,属于光学薄膜技术领域,具体包括惰性基底;长波通膜系,沉积在所述惰性基底的一表面,所述长波通膜系为非等厚周期膜系,周期膜系的结构表达为x(0.8L |
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搜索关键词: | 红外 薄膜 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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