[发明专利]一种双自由度大型精密仪器防微振平台在审
| 申请号： | 202310110290.4 | 申请日： | 2023-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN116357703A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 马跃;张厚根;高景作;尹波 | 申请（专利权）人： | 大连地拓电子工程技术有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/08 | 分类号： | F16F15/08;F16F15/03;F16F6/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双自由度大型精密仪器防微振平台，包括顶板、竖向驱动装置、水平向驱动装置和支撑腿，其特征在于，所述顶板底部四个角分别连接竖向驱动装置，所述竖向驱动装置底部安装在支撑腿顶部，所述顶板底部中间垂直安装有立柱，所述立柱左、右、前、后、侧分别安装有水平向驱动装置，所述支撑腿之间安装有横梁，所述水平向驱动装置底部与横梁垂直连接，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述横梁上安装有控制器。本发明竖向和水平向均采用主被动并联的形式扩大了隔振带宽，可以实现更低频0.2Hz~250 Hz的振动控制，降低了主动隔振器的负荷，提高了定位精度，延长了系统寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 大型 精密仪器 防微振 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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