[发明专利]压电元件、液滴喷出头、致动器以及振子在审
| 申请号： | 202310126009.6 | 申请日： | 2023-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN116568117A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 北田和也;大桥幸司;滨田泰彰;矢野凯己 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H10N30/30 | 分类号： | H10N30/30;H10N30/20;B41J2/14;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以提升电气特性的压电元件、液滴喷出头、致动器以及振子。压电元件(44)具备：第一电极(441)，其被形成在基板(36)上；种子层(442)，其被形成在第一电极(441)上；压电体膜(443)，其被形成在种子层(442)上，并含有钾、钠以及铌；第二电极(444)，其被形成在压电体膜(443)上，压电体膜(443)含有锂以及一种以上的第一过渡元素，种子层(442)含有铋，当将压电体膜(443)在层叠方向上进行二等分，并将第二电极(444)侧设为第一区域(443f)且将第一电极(441)侧设为第二区域(443s)时，第一区域(443f)和第二区域(443s)的分界(s2)处的由二次离子质谱测量而得到的铋强度为，压电体膜(443)的由二次离子质谱测量而得到的最大铋强度的五百分之一以下。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 喷出 致动器 以及 | ||
【主权项】：
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