[发明专利]一种MEMS陀螺仪及其制作方法在审
| 申请号： | 202310134728.2 | 申请日： | 2023-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN115979236A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 王子栋;孔庆凯;王清坤;段大维 | 申请（专利权）人： | 北京中科海芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733;G01C19/5769 |
| 代理公司： | 北京鼎承知识产权代理有限公司 11551 | 代理人： | 周娟 |
| 地址： | 100089 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS陀螺仪及其制作方法，涉及惯性技术和微机电系统技术领域，以解决MEMS陀螺仪热弹性阻尼大，灵敏度低的问题。该MEMS陀螺仪包括基底以及形成在基底上的电极组件、支撑锚点、谐振结构和石墨烯层；该石墨烯层包覆在谐振结构和电极组件的表面。该制作方法用于制作MEMS陀螺仪，制作过程简单、容易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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