[发明专利]一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法在审
| 申请号： | 202310149557.0 | 申请日： | 2023-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN116180003A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 娄德元;李珩;陈鹏健;江宏亮;杨东超;卢更新;梁恩康 | 申请（专利权）人： | 湖北工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/34;C23C14/08;C23C14/10;B23K26/364 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 吴艳姣 |
| 地址： | 430068 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种宏微一体的耐久亲水多级复合沟槽的加工方法，包括：S1、采用机械成形或激光刻槽工艺制备带有开放式沟槽结构的流道基体，除去沟槽内部和表面的灰尘；S2、薄膜材料覆盖在流道基体上；S3、采用压紧或抽真空的方法将透明靶材覆盖在覆盖薄膜材料的开放式沟槽结构上；S4、采用激光透射透明靶材，在沟槽结构表面上织构沉积，形成耐久过渡层，进而形成带多级结构的耐久亲水复合沟槽；S5、后处理：将S4所得沉积结合体放置于气氛箱中烘烤，目的在于提高沉积颗粒和开放式沟槽的结合强度，并提升润湿性。本方法采用激光织构沉积工艺制备的多级复合沟槽结构，能提升对液体浸润耐久性和芯吸输运能，提升使用沟槽器件的传热传质效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 一体 耐久 多级 复合 沟槽 加工 方法 | ||
【主权项】：
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