[发明专利]一种提高NbN薄膜超导性能的离子辐照方法在审
申请号: | 202310160106.7 | 申请日: | 2023-02-24 |
公开(公告)号: | CN116322280A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 彭发宏;高波;高锋 | 申请(专利权)人: | 安徽超导能源科技有限公司 |
主分类号: | H10N60/01 | 分类号: | H10N60/01 |
代理公司: | 合肥橙派知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34219 | 代理人: | 梅恒 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区皖水*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明公开了一种提高NbN薄膜超导性能的离子辐照方法,其技术方案是:具体步骤如下:S1、使用离子辐照技术,选择Kr |
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搜索关键词: | 一种 提高 nbn 薄膜 超导 性能 离子 辐照 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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