[发明专利]基于Ga2在审

专利信息
申请号: 202310167865.6 申请日: 2023-02-27
公开(公告)号: CN116314390A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 姬洪光;凌翠翠;王敬尧;荣晨;薛鑫;傅嘉文 申请(专利权)人: 中国石油大学(华东)
主分类号: H01L31/0336 分类号: H01L31/0336;H01L31/0352;H01L31/0392;H01L31/0224;H01L31/109;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266580 山*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明属于光探测技术领域,具体涉及一种自驱动光电探测器,该自驱动光电探测器,由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd前电极、Ga2O3薄膜‑PdTe2颗粒薄膜层、Si单晶基底和金属In背电极。Ga2O3薄膜‑PdTe2颗粒薄膜层是利用化学气相沉积、磁控溅射、氮气退火处理等方法制备的。测试结果显示,所制备薄膜器件表现出良好的自驱动光探测性能,具有性能稳定等优点。
搜索关键词: 基于 ga base sub
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国石油大学(华东),未经中国石油大学(华东)许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202310167865.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top