[发明专利]加热器清扫装置在审
| 申请号： | 202310171821.0 | 申请日： | 2023-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN116213378A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 张啸;李哲懿;刘涛;柳小敏;朱亮 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 张子飞 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，提供了一种加热器清扫装置，包括：吹扫架以及若干个吹扫头；所述吹扫头设置于所述吹扫架上；所述吹扫架用于与加热器装配，并使得各所述吹扫头分别与所述加热器上的各所述通孔正对，各所述吹扫头用于同时向各所述通孔内吹气。如此配置，本发明的吹扫架上集成有多个吹扫头，吹扫架与加热器装配后，各所述吹扫头与加热器上的通孔一一匹配，并对各个通孔同步吹气，各个通孔被同步清洁，且清洁后的带有颗粒物的气体不会对通孔造成二次污染；同步吹气清洁过程中，可保证各个通孔内的颗粒物均被吹出，提高清洁效果；在保证较高清洁质量的前提下，还有效提高了清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 清扫 装置 | ||
【主权项】：
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