[发明专利]一种新型双面生长分子束外延设备在审
| 申请号： | 202310174843.2 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116121863A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 丁颖;倪海桥;朱兵兵;刘晓宁;陈一竖 | 申请（专利权）人： | 南通三彩集成光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/12;C30B25/10;C23C16/458;C23C16/46;C23C16/455 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 226001 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型双面生长分子束外延设备，包括炉体、支撑装置、喷射装置和取样装置；所述炉体上设有若干激光加热孔和气源通道，所述激光加热孔、气源通道分别与炉体内部连通，所述支撑装置位于炉体内的中部，用于支撑生长衬底，所述喷射装置设置在炉体内，且位于支撑装置的顶部和底部，所述取样装置用于放取生长衬底。本发明可实现生长衬底的双面生长，提高外延生长的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 双面 生长 分子 外延 设备 | ||
【主权项】：
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