[发明专利]一种基于异质结的自驱动宽光谱光电探测器及制备方法

摘要

本申请涉及一种基于异质结的自驱动宽光谱光电探测器及制备方法，衬底上形成有波导；异质结包括碲化锑薄膜和石墨烯薄膜，碲化锑薄膜设于波导上，石墨烯薄膜设于碲化锑薄膜上；电极设于异质结上。本申请集成了波导与碲化锑薄膜Sb2Te3/石墨烯薄膜Graphene异质结，石墨烯的高载流子迁移率保证了载流子的快速抽出，石墨烯的高电导率降低了器件的电阻。光源是沿着波导传播的，整个波导都有光传输，扩大了有源区面积，有源区就能产生更多的光生载流子，光生载流子的收集路径与光沿波导传输的方向相垂直，这就可以通过增加碲化锑薄膜Sb2Te3的长度，增加探测器的光响应度，此外光传输通过波导可以减少光损耗。本申请克服了传统材料灵敏度和探测率低的问题。