[发明专利]一种倒装焊接方法及光器件在审
申请号: | 202310206853.X | 申请日: | 2023-03-06 |
公开(公告)号: | CN116364567A | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 唐开 | 申请(专利权)人: | 武汉光启源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L27/15 |
代理公司: | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 | 代理人: | 方可 |
地址: | 430074 湖北省武汉市东湖新*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种倒装焊接方法及光器件,属于光器件技术领域。所述倒装焊接方法包括:S1、提供芯片和基板,通过打线机和金线在芯片的各pad点上植第一金柱,在基板的各pad点上植第二金柱,多个第一金柱和多个第二金柱一一对应。S2、提供平板,将平板分别放置在多个第一金柱和多个第二金柱上方,并对平板施加预压力并驱动平板下移,以分别挤压多个第一金柱和多个第二金柱,从而分别使得多个第一金柱和多个第二金柱的高度一致。S3、对应焊接预压后的多个第一金柱和多个第二金柱,获得光器件。本发明实施例提供的一种倒装焊接方法及光器件,不仅可以便捷形成凸点,从而降低了光器件的生产成本,还能保证芯片和基板的连接强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 倒装 焊接 方法 器件 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造