[发明专利]基于碲纳米线的光控太赫兹波调制芯片，及其制备方法在审
| 申请号： | 202310207924.8 | 申请日： | 2023-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN116560115A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 周庆莉;张朴婧;张旭腾;陈金禹;张存林 | 申请（专利权）人： | 首都师范大学 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;G02F1/00 |
| 代理公司： | 北京清诚知识产权代理有限公司 11691 | 代理人： | 李博 |
| 地址： | 100089 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于碲纳米线的光控太赫兹波调制芯片，及其制备方法。该基于碲纳米线的光控太赫兹波调制芯片包括：绝缘衬底，其在光激发后不产生载流子且太赫兹波可透过；碲纳米线薄膜，形成于绝缘衬底上。相比于其他光控太赫兹波调制薄膜，例如MoTe2薄膜，本发明碲纳米线薄膜在较低的泵浦激光功率下，能够实现宽带调制，调制深度大、灵敏度高；同时制备成本低精度高，更适合于大规模工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 光控 赫兹 调制 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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