[发明专利]一种多点测量的软材料压痕装置、系统及测试方法在审
| 申请号： | 202310223486.4 | 申请日： | 2023-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN116359053A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 蒋涛;林泽宁;尚建忠;杨云;高源;洪阳;白向娟 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42;G01N3/02;G01N3/04 |
| 代理公司： | 国防科技大学专利服务中心 43202 | 代理人： | 关洪涛 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多点测量的软材料压痕装置、系统及测试方法。压痕系统包括电控平移台、软材料压痕装置、多孔位辅助支撑夹具和光学平台，电控平移台包括X轴平移台、Y轴平移台和Z轴平移台，X轴平移台安装在光学平台上，Y轴平移台设于X轴平移台上，多孔位辅助支撑夹具设于Y轴平移台上，Z轴平移台垂直设于光学平台上，软材料压痕装置设于Z轴平移台上。本发明可以实现多组样品同时进行测量避免了由于其余样品等待测试的时间误差或者样品逐个制备损失的大量实验时间；可以保证在测试过程中探针与样品的接触距离处在相同高度，避免由于样品高度不一致产生测量误差；在所有样品同一位置测试完成后，通过电控平移台精确移动到所需的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多点 测量 软材 压痕 装置 系统 测试 方法 | ||
【主权项】：
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