[发明专利]桌面型旋涂设备在审
| 申请号： | 202310229813.7 | 申请日： | 2023-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN116339076A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 冀然;李铭 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请涉及纳米压印技术领域，公开一种桌面型旋涂设备，包括壳体、托盘单元、点胶单元、去边单元和背洗单元，壳体包括外壳主体和盖板，盖板安装在外壳主体上部，外壳主体内部设置有匀胶腔体；托盘单元安装在壳体内，托盘单元包括位于匀胶腔体内的基片托盘，基片托盘用于承载基片；点胶单元安装在盖板上，点胶单元与基片位置对应，点胶单元用于对基片点胶；去边单元安装在壳体上，与基片的边缘位置对应，去边单元用于去除基片边缘的纳米压印胶；背洗单元安装在外壳主体内，背洗单元用于清洗反弹到基片背面的纳米压印胶。本公开体积小，集成点胶、去边和背洗等功能单元，可实现自动滴胶功能，保证基片正面胶层的均匀性和背面清洁功能齐全。 | ||
| 搜索关键词： | 桌面 型旋涂 设备 | ||
【主权项】：
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