[发明专利]一种TVS二极管生产工艺在审
| 申请号： | 202310234891.6 | 申请日： | 2023-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN116246970A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 周伟伟 | 申请（专利权）人： | 无锡维矽半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/329;H01L29/861 |
| 代理公司： | 无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569 | 代理人： | 陈勤 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种TVS二极管生产工艺，涉及TVS二极管生产技术领域，包括：材料预备，所述材料预备是对TVS二极管生产所需求材料进行提前准备的步骤；预处理，所述预处理是对所准备材料进行预处理的步骤。本发明，通过设计预处理，将存在受损现象的原材料与完好的原材料进行分离，使原材料具有良好的筛分措施，利用修整仪器对受损的原材料进行修整，使受损的原材料具有良好的修整措施，降低原材料出现浪费现象的概率，提高受损原材料的缺陷修整措施，避免造成存在受损现象的原材料加入TVS二极管生产工序中，降低TVS二极管产品因选择的单晶硅片存在受损现象而造成质量品质受影响现象的概率，提高TVS二极管利用单晶硅片生产的质量效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tvs 二极管 生产工艺 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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