[发明专利]一种无醇型单晶硅快速制绒添加剂、及包含其的制绒液、其制备方法及用途在审
申请号: | 202310235257.4 | 申请日: | 2023-03-13 |
公开(公告)号: | CN116144362A | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | 侯军;郭岩;吕晶 | 申请(专利权)人: | 大连奥首科技有限公司 |
主分类号: | C09K13/02 | 分类号: | C09K13/02;C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
代理公司: | 大连大工智讯专利代理事务所(特殊普通合伙) 21244 | 代理人: | 崔雪 |
地址: | 116085 辽宁省大连市高新*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供一种无醇型单晶硅快速制绒添加剂、及包含其的制绒液、其制备方法及用途,所述无醇型单晶硅快速制绒添加剂包括重量配比如下的各组分:缓蚀剂0.1‑20份;表面活性剂0.1‑10份;小分子糖醇0.5‑30份;无机碱溶液30‑70份;去离子水30‑50份。本发明无醇型单晶硅快速制绒添加剂,该制绒添加剂兼具绿色环保、成分沸点高不易挥发的优点。本发明还公开了一种制绒液,包括上述无醇型单晶硅快速制绒添加剂、碱溶液和去离子水。将含有无醇型单晶硅快速制绒添加剂的制绒液用于单晶硅制绒,具有高效稳定且快速的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 无醇型 单晶硅 快速 添加剂 包含 制绒液 制备 方法 用途 | ||
【主权项】:
暂无信息
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