[发明专利]一种外延用反射镜水冷装置在审
| 申请号： | 202310247146.5 | 申请日： | 2023-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN116123913A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 郑锦;姚铖;陶佳月 | 申请（专利权）人： | 南京原磊纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | F28D21/00 | 分类号： | F28D21/00;H01L21/67;C30B23/02;C30B25/02;C30B28/12;F28F27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外延用反射镜水冷装置，属于半导体设备技术领域。外延用反射镜水冷装置包括水冷板和进出水调节机构，水冷板包括水槽板和盖板，盖板固连于水槽板顶部，水槽板与盖板之间设置有冷却密封空间，水槽板沿外侧延伸方向向内间隔设置有若干第一安装部，冷却密封空间内设置有第二安装结构组件和通风组件，第二安装结构组件、通风组件和若干第一安装部之间形成水路通道，进出水调节机构固连于盖板的顶部，进出水调节机构与水路通道连通，水槽板的底部固连有反射镜体。本发明提供的外延用反射镜水冷装置，制作工艺简单，能够有效协调各安装加热零部件与水路通道之间的关系以达到最佳的冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 反射 水冷 装置 | ||
【主权项】：
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