[发明专利]一种调整PVD磁控管旋转半径和平面靶电源功率的设备及方法在审
| 申请号： | 202310250018.6 | 申请日： | 2023-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN116288225A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 杨洪生;朱新华;孙守祥;张晓军 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518131 广东省深圳市龙华区民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调整PVD磁控管旋转半径和平面靶电源功率的设备，包括：磁控管旋转组件、控制器和驱动机构，磁控管在水平面上的投影面积小于平面靶在水平面上的投影面积，控制器控制第二动力部件驱动磁控管进行径向移动，以使薄膜的厚度在设定的厚度范围内，以及控制向平面靶施加的电源功率，以使薄膜的电阻率在设定的电阻率范围内。本发明可以使基片上薄膜的厚度与电阻率趋向于一致，且调节速度快，有助于提升效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调整 pvd 磁控管 旋转 半径 平面 电源 功率 设备 方法 | ||
【主权项】：
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