[发明专利]测试方法、测试装置及电子设备有效
| 申请号： | 202310294702.4 | 申请日： | 2023-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN116047257B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 杨杰 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R19/00;G01R19/165 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨丽爽;刘芳 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种测试方法、测试装置及电子设备，对器件进行电位扫描，测试对器件施加交流电压时器件的衬底电流，获取衬底电流中的交流电流，相邻交流电流之间的差值绝对值首次处于第一阈值时，根据相邻交流电流对应的直流电压确定器件的平带电压。本申请的方案，较为准确的获取器件的平带电压，避免栅氧化层的非理想特征影响器件的平带电压。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 方法 装置 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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