[发明专利]电子束控制装置及方法在审
| 申请号： | 202310304931.X | 申请日： | 2023-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN116246924A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 崔锦;李帅 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/28;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 周艳;马丽 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电子束控制装置及方法。其中，所述电子束控制装置包括：第一生成组件和第二生成组件；所述第一生成组件，用于生成第一强度和/或第一方向的第一磁场，以调整穿过所述第一生成组件的所述扫描电子显微镜的发射组件发射的电子束的偏转角度和/或位移，使得电子束的光轴与所述扫描电子显微镜的第一聚焦组件的磁轴重合；所述第二生成组件，用于生成第二强度和/或第二方向的第二磁场，以调整穿过所述第二生成组件的来自所述第一生成组件的电子束的偏转角度和/或位移，使得电子束的光轴与所述扫描电子显微镜的第二聚焦组件的磁轴重合。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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