[发明专利]一种二维晶体材料的超低温普适制备方法

摘要

本发明公开了一种二维晶体材料的超低温普适制备方法，属于半导体材料技术领域。其包括以下步骤：采用碘化铅、碘化铋、碘化亚铟、碘化钴、碘化亚铁、碘化锡、碘化铬、碘化亚铜、碘化锰、碘化锌、碘化镍、碘化铂、碘化锑作为前驱体，单质硫、单质硒、单质碲为原料。首先通过物理气相沉积法在衬底上制备碘化铅、碘化铋、碘化亚铟、碘化钴、碘化亚铁、碘化锡、碘化铬、碘化亚铜、碘化锰、碘化锌、碘化镍、碘化铂、碘化锑的二维晶体材料。通过超低温原子替代法将上述二维碘化物二维晶体材料中的碘原子替换为硫原子、硒原子、碲原子，成功合成了13种二维硫化物晶体材料、13种二维硒化物晶体材料、13种二维碲化物晶体材料。