[发明专利]半导体器件及其制备方法在审
申请号: | 202310312129.5 | 申请日: | 2023-03-27 |
公开(公告)号: | CN116504806A | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 焦春坤;高博;胡飞;唐龙谷 | 申请(专利权)人: | 华为数字能源技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06 |
代理公司: | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人: | 时林;王君 |
地址: | 518043 广东省深圳市福田区香蜜湖街道香*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请实施例提供了一种半导体器件及其制备方法,该半导体器件包括有源区和终端区,在终端区的外延层内形成沿远离有源区的方向环宽和/或深度依次递减的N个场限环,可以减少半导体器件的终端区占用的面积。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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