[发明专利]超高温曲面金属基厚/薄膜传感器绝缘层及其制备方法有效
| 申请号： | 202310316429.0 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116024570B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 董和磊;王梦竹;谭秋林;熊继军 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/28;C23C14/08;C23C24/08 |
| 代理公司： | 太原新航路知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14112 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及曲面金属基厚/薄膜传感器绝缘层，具体是一种超高温曲面金属基厚/薄膜传感器绝缘层及其制备方法。本发明解决了现有金属基厚/薄膜传感器绝缘层在高温环境下导致传感器的可靠性降低、制备成本高、制备过程复杂的问题。一种超高温曲面金属基厚/薄膜传感器绝缘层，包括层叠于曲面合金基底上表面的介质/金属混合渐变过渡膜层、层叠于介质/金属混合渐变过渡膜层上表面的自由电子阻挡膜层、层叠于自由电子阻挡膜层上表面的第一介质膜层、层叠于第一介质膜层上表面的第二介质膜层、层叠于第二介质膜层上表面的第三介质膜层、层叠于第三介质膜层上表面的敏感膜层。本发明适用于曲面金属基厚/薄膜传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 超高温 曲面 金属 薄膜 传感器 绝缘 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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